TRIMOS测高仪的规范使用方法

　　TRIMOS测高仪是精密测量领域的常用设备，能实现对工件高度、深度、平面度等参数的高精度检测（分辨率达 0.1μm），其规范使用需遵循严格的操作流程，以确保测量误差控制在 0.5μm/m 以内。​

　　操作前的准备工作直接影响测量精度。首先需将测高仪放置在恒温恒湿环境（温度 20±1℃，湿度 40%-60%），避免温度波动（每小时温差≤0.5℃）导致设备热变形。使用前需开机预热 30 分钟，使光栅尺与电子系统达到热稳定状态。清洁测量平台与测针（测针可选硬质合金或红宝石材质，直径 1-3mm），用无水乙醇擦拭去除油污，确保测针球头无磨损（磨损量超过 0.5μm 需更换）。检查工件表面是否平整，无毛刺、划痕，必要时用磁力表座固定工件，防止测量过程中位移。​
 

　　校准步骤是保证数据可靠的核心。首先进行零点校准：将测针轻触测量平台基准面，按下 “清零” 键，此时显示屏高度值应显示为 0.0000mm，重复 3 次校准，偏差需≤0.2μm。随后用标准量块（如 100mm 等级 1 量块）进行线性校准，将量块放置在平台中央，测针分别接触量块两端，记录测量值与量块标称值的差值，若误差超过 0.3μm，需通过设备菜单进行修正。

　　测量操作需遵循 “三点定位” 原则。针对高度测量，将工件平稳放置在平台上，移动测头至测量位置，按下 “测量” 键，测针以 5-10mm/min 的速度接触工件表面（接触力控制在 0.5-1.5N），待数值稳定后记录数据。测量台阶高度时，需分别测量台阶上下表面的高度值，系统自动计算差值（如测得上表面 25.3215mm、下表面 5.1208mm，台阶高度为 20.2007mm）。对于平面度测量，需在工件表面均匀选取至少 5 个测点，设备软件自动计算平面度误差（按最小二乘法）。​

　　数据处理与维护保障长期使用精度。设备内置数据存储功能，可记录 1000 组测量数据，支持通过 USB 接口导出至电脑，用专用软件生成测量报告（包含最大值、最小值、平均值等统计参数）。测量结束后，需将测针移动至安全位置（距平台≥50mm），关闭电源前需确认测头已离开工件。日常维护需每周清洁光栅尺轨道（用专用擦镜纸蘸异丙醇擦拭），每月检查测针固定螺丝的松紧度，防止测针松动导致测量偏差。​

　　TRIMOS测高仪使用过程中还需注意环境干扰：避免在强磁场（如电焊机附近）或振动源（如冲床）旁使用，测量时操作人员需戴手套，防止手温影响工件温度。通过规范操作，TRIMOS 测高仪能稳定实现微米级精度测量，成为机械加工、模具制造等领域质量控制的关键工具。